德州新聞網(wǎng)訊（記者劉瀟通訊員韓哲張小璐）截?cái)?、滾磨、切片……無(wú)塵車間內(nèi)，經(jīng)過40余道工序，一件件刻蝕設(shè)備用硅材料部件成功下線。10月16日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)，這是全省首個(gè)集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)項(xiàng)目，填補(bǔ)了省內(nèi)技術(shù)空白，在完善新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上邁出關(guān)鍵一步。

據(jù)悉，項(xiàng)目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，全部達(dá)產(chǎn)后年可新增硅材料部件204噸?！翱涛g設(shè)備用硅材料部件主要包括硅環(huán)和硅電極，是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所需的核心耗材，主要用于生產(chǎn)8至12英寸等離子刻蝕機(jī)?！鄙綎|有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞介紹。

作為國(guó)內(nèi)最早開展硅片產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，此前，有研集團(tuán)一直生產(chǎn)刻蝕設(shè)備用硅部件半成品，來到德州后，開始布局全產(chǎn)業(yè)鏈成品制作。從2021年底謀劃至今，經(jīng)歷了漫長(zhǎng)的科研攻關(guān)。“既要保證產(chǎn)品雜質(zhì)少、微缺陷少，還要保證電阻率、金屬含量等諸多關(guān)鍵性能指標(biāo)達(dá)標(biāo)?！痹陂Z志瑞看來，最難的是直拉硅單晶制備過程，需要保證工藝穩(wěn)定性和質(zhì)量參數(shù)一致性。

作為“有研系”在德州布局的重點(diǎn)延鏈補(bǔ)鏈項(xiàng)目之一，項(xiàng)目對(duì)于完善全省集成電路產(chǎn)業(yè)格局，填補(bǔ)省內(nèi)空白意義重大，同時(shí)將徹底改變國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備用硅材料依賴進(jìn)口的局面。“現(xiàn)在我們不僅制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產(chǎn)相關(guān)成品部件，全產(chǎn)業(yè)鏈布局可以直面終端刻蝕機(jī)廠商，無(wú)形中提升了市場(chǎng)附加值，在細(xì)分領(lǐng)域賽道增加了競(jìng)爭(zhēng)力?！遍Z志瑞介紹，“通線代表從小批量轉(zhuǎn)為大批量生產(chǎn)，目前第一期每月產(chǎn)能1500片，最大目標(biāo)是每月1萬(wàn)片?！?/p>

眼下，有研集團(tuán)已投資近百億元，在德州布局7個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，天衢新區(qū)涵蓋6個(gè)項(xiàng)目，并集聚打造了占地1000畝的集成電路關(guān)鍵材料基地。“針對(duì)每個(gè)項(xiàng)目，天衢新區(qū)始終堅(jiān)持靠前服務(wù)，成立項(xiàng)目推進(jìn)專班和三級(jí)幫包服務(wù)專員隊(duì)伍，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)、一對(duì)一解決項(xiàng)目建設(shè)中的‘疑難雜癥’，全方位協(xié)助辦理各項(xiàng)審批手續(xù)、完善各種配套設(shè)施建設(shè)，幫助項(xiàng)目以最快速度落地投產(chǎn)?！碧灬樾聟^(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任李濤說。